等离子体是宇宙中物质存在的一种状态,是一种电离的气态物质, 称为物质第四态, 宇宙中99. 9 %的物质都处于等离子体态。它由带电的电子、离子和中性粒子组成,总体上是电中性的导电气体。
按物理性质,低温等离子体大致有三种:  (1) 热等离子体(或近局域热力学平衡等离子体) ;    (2) 冷等离子体(非平衡等离子体) ;    (3) 燃烧等离子体。
目前在工业生产中用于提高材料附着力和表面清洗的等离子是“非平衡等离子体”，也即“低温等离子体”，其电子和离子各自分别处于平衡态,但电子温度可以很高,而离子和原子之类的重粒子温度却非常低。这意味着一方面电子具有足够高的能量使反应物分子激发、离解和电离,另一方面反应体系又得以保持低温,乃至接近室温。这样一来,不仅设备投资少,节省能源,并且容易实现。